一、ZJ系列羅茨真空泵結(jié)構(gòu)原理及使用特點(diǎn)
（一）、結(jié)構(gòu)原理：
   1、ZJ系列羅茨真空泵，是一種容積式真空泵，它是利用一對(duì)8子形轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙，作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的（見(jiàn)圖一）。
   2、ZJP型帶溢流閥羅茨真空泵是ZJ型羅茨真空泵的派生產(chǎn)品，抽氣原理同ZJ型泵一樣，也是利用一對(duì)8字型轉(zhuǎn)子在泵殼中保持一定的間隙，作等速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的，所不同的是ZJP型泵進(jìn)排氣口連通，在通道上垂直地裝置著一個(gè)自重閥（見(jiàn)圖一（a）），其作用是當(dāng)排氣口和進(jìn)氣口的壓力差和閥的有效作用面積的乘積超過(guò)閥頭的自重時(shí)，閥頭就自動(dòng)頂開(kāi)閥座，使排氣口和進(jìn)氣口的壓力差始終保持在一個(gè)可控制的數(shù)值內(nèi)，這個(gè)數(shù)值是設(shè)計(jì)的泵可靠運(yùn)轉(zhuǎn)的允許*高壓力差值。因此，這種閥實(shí)際上就是一種過(guò)載自動(dòng)保護(hù)閥。
   3、ZJ系列羅茨真空泵二個(gè)轉(zhuǎn)子被支承在泵殼側(cè)面端蓋的滾動(dòng)軸承中，依靠一對(duì)可調(diào)的同步齒輪使二個(gè)轉(zhuǎn)子在高速旋轉(zhuǎn)時(shí)始終保持著一定的相互位置，而轉(zhuǎn)子與端蓋之間的端面間隙是靠固定端軸承座下面的可調(diào)金屬墊片來(lái)保證，使之泵在工作時(shí)因受熱而轉(zhuǎn)子只能向一面膨脹。
   4、端蓋內(nèi)的四組內(nèi)軸封是為了防止兩側(cè)潤(rùn)滑油進(jìn)入泵殼，出軸處油封是為了防止氣體漏入泵內(nèi)。
   5、為減少泵溫，除*小二種規(guī)格泵外，均裝有齒輪箱冷卻器和出軸油封冷卻器。
   6、電動(dòng)機(jī)的動(dòng)力通過(guò)聯(lián)軸器傳給主動(dòng)軸，再通過(guò)同步齒輪傳動(dòng)從動(dòng)軸。
   7、ZJ、ZJP系列羅茨真空泵均制成臥式結(jié)構(gòu)，采用聯(lián)軸器與電機(jī)直聯(lián)。

（二）、使用特點(diǎn)：
    ZJ羅茨真空泵的*大優(yōu)點(diǎn)是在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率，但它不能單獨(dú)使用，必須有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級(jí)真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時(shí)，羅茨真空泵才能開(kāi)始工作（見(jiàn)圖一），并且在一般情況下，羅茨真空不允許高壓差時(shí)工作，否則將會(huì)過(guò)載和過(guò)熱而損壞，因此使用羅茨真空泵時(shí)必須合理地選用前級(jí)真空泵，安裝必要的保護(hù)設(shè)備。
    ZJP型帶溢流閥羅茨真空泵*大特點(diǎn)具有自動(dòng)過(guò)載保護(hù)，而抽氣性能和ZJ型羅茨真空泵相同，即是在較低入口壓力時(shí)具有較高的抽氣速率。但因?yàn)榱_茨真空泵是一種干燥的間隙密封機(jī)構(gòu)，要獲得一定的抽氣速率和極限壓力，也必須降低前級(jí)壓力，減少反流。因此，使用時(shí)，必須有一臺(tái)前級(jí)真空泵串聯(lián)，且待前級(jí)真空泵抽到一定壓力后羅茨真空泵再開(kāi)始工作，這樣才是*經(jīng)濟(jì)的。（見(jiàn)圖二A）
    前級(jí)真空泵一般為油封機(jī)械泵，但如果極限壓力要求不高時(shí)，可選用其他形式的粗真空泵作為前級(jí)泵。特別在抽除含有大量水蒸汽的氣體時(shí)，選用水環(huán)真空泵作為前級(jí)泵是很理想的，當(dāng)然所能達(dá)到的極限壓力度要低些。
二、ZJ系列羅茨真空泵主要技術(shù)性能規(guī)格

型號(hào)	抽速 （升/秒）	極限壓力 （帕）	啟動(dòng)壓大 Pa	*大壓差 Pa	轉(zhuǎn)速 （轉(zhuǎn)/分）	電機(jī)功率 （千瓦）	口徑（毫米）		重量 （公斤）	推薦配用 前級(jí)泵型號(hào)
							進(jìn)口	出口
ZJ-30	30	6×10-2			2770	0.75	50	40	66	2X-4 或2X-8
ZJP-30		5×10-2	101326	8000					75
ZJ-70	70	6×10-2			2870	1.5	80	50	87	MH-2/30
ZJP-70		5×10-2	101326	6000					100
ZJ-150A	150	6×10-2			2900	3	100	100	198	MH-2/50 或MH-2/80
ZJP-150		5×10-2	101326	6000					215
ZJ-300	300	6×10-2			1450	4	150	150	490	MH-2/100
ZJP-300		5×10-2	101326	5000					480
ZJ-600	600	6×10-2			2900	5.5	150	150	490	MH-2-150 或MH-2/200
ZJP-600		5×10-2	101326	4000					503
ZJ-1200A	1200	6×10-2			1450	11	300	300	1550	MH-2/150二臺(tái) 或MH-2/200二臺(tái)
ZJP-1200		5×10-2	101326	3000					1580

注：1、抽氣速率系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，羅茨真空泵的入口壓強(qiáng)在6650pa—2.66pa范圍內(nèi)所測(cè)得的*大抽氣速率。
    2、極限壓力系指在配用推薦前級(jí)泵的條件下，不帶任務(wù)附加容器、泵口密封不進(jìn)氣，經(jīng)過(guò)充分抽氣后用壓縮式真空計(jì)在泵進(jìn)口處所測(cè)得的穩(wěn)定的空氣分壓力的*低值。
    3、上表各性能均是在配用推薦前級(jí)泵的條件下獲得的，用戶可根據(jù)不同情況選用不同的前級(jí)真空泵，但其主要性能指標(biāo)會(huì)有所變化。
    4、重量系數(shù)指配Y系列電動(dòng)機(jī)時(shí)的總重量。

型號(hào)Model		ZJ-30	ZJ-70	ZJ-150A	ZJ-300	ZJ-600	ZJ-1200A	ZJ-5000	ZJ-20000
抽速Pumping speed（L/S）		30	70	150	300	600	1200	5000	20000
極限壓力Uttimate-pressure（Pa）		6×10-2	6×10-2	6×10-2	6×10-2	6×10-2	6×10-2	<1×10-1	<1×10-1
轉(zhuǎn)速Rotating speed（r/min）		2770	2870	2900	1450	2900	1450	1800	1300
口徑Port dia(mm)	進(jìn)口Inlet	50	80	100	150	150	300	500	600
	出口Outlet	40	50	100	150	150	300	350	500
重量Weight(kg)		75	100	215	480	503	1580
配用電機(jī)功率Motor　power(kw)		0.75	1.5	3	4	5.5	11	55	110

 

三、ZJ系列羅茨真空泵安裝說(shuō)明
（一）、安裝場(chǎng)所：
1、羅茨真空泵應(yīng)安裝在明亮少塵的建筑物內(nèi)。
2、羅茨真空泵的安裝環(huán)境溫度為5–40℃。
3、羅茨真空泵周圍須留充分的余地，便于日常檢查，維護(hù)保養(yǎng)，拆卸裝配。
（二）、基礎(chǔ)工程：
1、中小型泵可與前級(jí)泵等安裝在同一機(jī)架上組成機(jī)組后再安裝在混凝土基礎(chǔ)上，大型泵必須單獨(dú)安裝，澆灌混凝土基礎(chǔ)。
2、根據(jù)羅茨真空泵的重量和地基的耐壓力確定混凝土基礎(chǔ)的受壓面積和深度。
3、為了在混凝土中埋進(jìn)基礎(chǔ)螺栓，混凝土基礎(chǔ)灌澆時(shí)必須根據(jù)底基孔位置留出充分的空穴。
4、基礎(chǔ)表面做水平。
（三）、安裝：
1、按底基孔位置做好木框，將基礎(chǔ)螺栓固定在木框上，放入預(yù)留孔中，再在預(yù)留孔中澆進(jìn)混凝土，放置數(shù)目，待混凝土硬化后取掉木框。
2、將羅茨真空泵放到基礎(chǔ)上，用水平儀校水平，不平部分用金屬墊片墊硬，旋緊基礎(chǔ)螺栓，用水泥將底面縫隙補(bǔ)滿。
（四）、管道安裝：
1、進(jìn)出氣管道內(nèi)無(wú)任何焊渣、雜質(zhì)等異物，有足夠的通道能力。
2、羅茨真空泵出口至前級(jí)泵進(jìn)口的連接管道中須安裝一段彈性管，減少前級(jí)泵振動(dòng)的影響。
3、為了縮短預(yù)抽時(shí)間在一般的系統(tǒng)中，前級(jí)泵的入口除與羅茨真空泵的排口連接外，還需裝旁通預(yù)抽管道及閥門。帶溢流閥羅茨真空泵因?yàn)榭梢栽诟呷肟趬毫ο鹿ぷ?，所以可不安裝預(yù)抽管道及閥門。
4、為了防止前級(jí)泵停止時(shí)返油或返水，在前級(jí)泵的進(jìn)口管道上應(yīng)裝有放氣閥或逆止閥。
5、管道連接法蘭必須用0形的橡膠密封圈封，并涂上真空考克脂，整個(gè)真空系統(tǒng)須密封不漏。
6、泵的冷卻水進(jìn)出處應(yīng)接管道，并在進(jìn)水管上裝上閥門，調(diào)節(jié)水量。
（五）、電器安裝：
1、因羅茨真空泵只能在規(guī)定的入口壓力范圍內(nèi)工作，又當(dāng)前級(jí)泵停止工作時(shí)，羅茨真空泵必須同時(shí)停止工作。因此，電器設(shè)備必須具有互鎖及必要的自動(dòng)保護(hù)。
2、電動(dòng)機(jī)的接線需使泵的轉(zhuǎn)向符合箭頭所指方向。
3、小泵可直接起動(dòng)，大泵須裝設(shè)起動(dòng)器。

四、ZJ系列羅茨真空泵使用說(shuō)明
（一）、起動(dòng)前的準(zhǔn)備工作：
1、打開(kāi)冷卻水進(jìn)水閥，檢查冷卻水是否暢通。
2、外伸軸封空腔及油杯內(nèi)注滿潤(rùn)滑油，齒輪箱及軸承箱內(nèi)的潤(rùn)滑油加至油窗直徑3/4高度，潤(rùn)滑油用1號(hào)真空泵油。
3、凡在下列情況中使用時(shí)，必須采取相應(yīng)的措施：
a）吸入氣體中有粉塵或顆粒時(shí)，應(yīng)在吸氣口前裝置除塵器或過(guò)濾器；
b）如果吸入氣體中帶有腐蝕性，必須采取中和措施；
c）如果吸入氣體中含有水蒸汽，選用的前線泵又是油封機(jī)械泵時(shí)，油封機(jī)械泵應(yīng)帶有氣鎮(zhèn)裝置，水蒸汽過(guò)多時(shí)，必須裝置冷凝器。
（二）、起動(dòng)程序：
1、起動(dòng)前級(jí)泵
2、打開(kāi)前級(jí)泵預(yù)抽旁通管道上的閥門和羅茨真空泵進(jìn)排氣管道上閥門。
3、待系統(tǒng)內(nèi)壓力達(dá)到羅茨真空泵允許入口壓力后，將旁通管道上閥門關(guān)閉，再起動(dòng)羅茨真空泵，如無(wú)旁通管道及閥門，則待系統(tǒng)內(nèi)壓力達(dá)到羅茨真空泵允許入口壓力后，即可起動(dòng)羅茨真空泵，如果采用自動(dòng)控制裝置，則起動(dòng)過(guò)程可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
4、根據(jù)真空系統(tǒng)的實(shí)際情況，如果是不大的密封系統(tǒng)，則起動(dòng)前級(jí)泵后即可起動(dòng)羅茨真空泵。如果是較大的真空系統(tǒng)，雖然帶溢流閥羅茨真空泵具有過(guò)載保護(hù)作用，但考慮到經(jīng)濟(jì)性，應(yīng)待前級(jí)泵抽到一定的壓力后再起動(dòng)羅茨真空泵。
（三）、運(yùn)轉(zhuǎn)中的注意點(diǎn)：
1、運(yùn)轉(zhuǎn)中必須嚴(yán)格按照羅茨真空泵的技術(shù)規(guī)格使用，在正常情況下，羅茨真空泵的入口壓力在1330Pa以下，其*高入口壓力應(yīng)不超過(guò)它的允許*高入口壓力。如果超過(guò)了，ZJP帶溢流閥羅茨真空泵能自動(dòng)保護(hù)，但這種保護(hù)，只是對(duì)電動(dòng)機(jī)的過(guò)載保護(hù)。如果長(zhǎng)時(shí)間在超過(guò)允許*高入口壓力情況下工作，泵也會(huì)因過(guò)熱而發(fā)生故障。
2、注意電動(dòng)機(jī)負(fù)荷和泵的各部位溫升情況，在正常運(yùn)轉(zhuǎn)情況下，泵的*高溫升不得超過(guò)40℃。*高溫度不得超過(guò)80℃。
3、運(yùn)轉(zhuǎn)中不應(yīng)有不規(guī)則的異常振動(dòng)。
4、如發(fā)現(xiàn)在運(yùn)轉(zhuǎn)中有電機(jī)過(guò)載，溫升過(guò)高，聲音異常，振動(dòng)大等情況時(shí)，應(yīng)立即停機(jī)檢查原因，排除故障。
（四）、停機(jī)程序：
1、關(guān)閉前級(jí)油封機(jī)械泵氣鎮(zhèn)閥（如果前級(jí)泵在使用時(shí)為開(kāi)氣鎮(zhèn)閥）。
2、關(guān)閉羅茨真空泵進(jìn)氣閥。
3、逐級(jí)停機(jī)械增壓泵，*后停前級(jí)泵，嚴(yán)禁搞錯(cuò)停機(jī)程序。
4、在停前級(jí)泵的同時(shí)，立即向前級(jí)泵進(jìn)氣口放氣。
5、關(guān)閉冷卻水進(jìn)水閥。
6、如果需要長(zhǎng)時(shí)間停止使用，或在冬天為防止凍裂，則必須將冷卻水套內(nèi)剩水放盡。

五、ZJ系列羅茨真空泵維護(hù)保養(yǎng)
（一）、定期檢查：
1、每日檢查：
  a）油位檢查：油量過(guò)多，使溫度升高，油量過(guò)少，造成潤(rùn)滑**。
  b）溫度檢查：用溫度計(jì)檢查泵各部位溫度。
  c）電動(dòng)機(jī)負(fù)荷檢查：用功率表或電流，電壓表測(cè)量電動(dòng)機(jī)負(fù)荷。
2、每月檢查：
聯(lián)軸器及墊片是否損壞和松動(dòng)。
3、每3個(gè)月檢查：
齒輪箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。
4、每6個(gè)月檢查：
  a）前蓋軸承箱內(nèi)潤(rùn)滑油是否變質(zhì)。
  b）活塞環(huán)及活塞環(huán)襯套是否磨損。
  c）齒輪微量程度的磨損對(duì)轉(zhuǎn)子正常運(yùn)轉(zhuǎn)是否產(chǎn)生影響，是否需要調(diào)整。
（二）、拆裝：
增壓泵進(jìn)行拆卸和重新裝配時(shí)，須根據(jù)以下注意事項(xiàng)進(jìn)行：
1、未拆卸前，先測(cè)量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。
2、盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，妥善保管好。
3、將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細(xì)記錄下來(lái)。
4、重新裝配前須把各零部件清潔干凈，毛刺修光。
5、無(wú)密封墊襯或密封圈的靜密封面用“106”有機(jī)硅橡膠涂料。用干凈密封的橡膠密封件，需涂上真空考克脂。ZJP型帶溢流閥真空泵溢流閥上的密封圈及平面上不得涂任柯油脂。
6、根據(jù)間隙一覽表調(diào)整轉(zhuǎn)子各部分間隙。
7、全部裝好后須進(jìn)行檢漏。
8、重裝后須進(jìn)行試運(yùn)轉(zhuǎn)和必要的性能測(cè)試，待正常后才能安裝使用。
注：本產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：Q3204AVT002

六、ZJ系列羅茨真空泵故障原因及其消除方法

故  障	原           因	消 除 方 法
極限壓力不高	（1）管道、系統(tǒng)漏氣 （2）泵部分漏氣 （3）前極泵極限壓力下降 （4）潤(rùn)滑油太臟或牌號(hào)不符 （5）油封磨損 （6）溢流伐處漏氣	（1）系統(tǒng)檢漏 （2）對(duì)泵檢漏 （3）修理或更換前級(jí)泵 （4）調(diào)換潤(rùn)滑油 （5）調(diào)換油封 （6）對(duì)溢梳伐進(jìn)行清理
抽速不足	（1）管道通導(dǎo)能力不夠 （2）前級(jí)泵抽速下降 （3）溢流伐處漏氣	（1）增大管道通導(dǎo)能力 （2）修理或更換前級(jí)泵 （3）對(duì)溢流伐處進(jìn)行清理
電動(dòng)機(jī)過(guò)載	（1）入口壓力過(guò)高 （2）轉(zhuǎn)子端面與端蓋單面接觸 （3）前級(jí)泵返油進(jìn)泵腔 （4）溢流伐卡住，使出口過(guò)高	（1）調(diào)整、控制入口壓力 （2）調(diào)整轉(zhuǎn)子端面間隙 （3）裝置防返油設(shè)備 （4）對(duì)溢流伐進(jìn)行清理
過(guò)熱	（1）選擇的前級(jí)泵抽速不夠，造成壓縮比過(guò)大 （2）入口壓力過(guò)高 （3）冷卻** （4）齒輪箱潤(rùn)滑油過(guò)高 （5）轉(zhuǎn)子與泵殼接觸 （6）齒輪、軸承、油封潤(rùn)滑**	（1）重新選用前級(jí)泵 （2）調(diào)整、控制入口壓力 （3）暢通冷卻 （4）調(diào)整油量 （5）修整 （6）保證油量適當(dāng)，潤(rùn)滑良好
聲音異常	（1）裝配** （2）導(dǎo)向齒輪與轉(zhuǎn)子位置偏移使轉(zhuǎn)子相碰 （3）入門壓力過(guò)高 （4）過(guò)載或潤(rùn)滑**造成對(duì)齒輪的損傷 （5）軸承磨損	（1）重裝 （2）調(diào)整位置，保證間隙 （3）調(diào)整、控制入口壓力 （4）調(diào)換齒輪 （5）調(diào)換軸承
軸承、齒輪 早期磨損嚴(yán)重	（1）潤(rùn)滑油** （2）潤(rùn)滑油不足	（1）調(diào)換潤(rùn)滑油 （2）補(bǔ)充潤(rùn)滑油

七、ZJ系列羅茨真空泵間隙一覽表

單位：毫米

型 號(hào)	轉(zhuǎn)子對(duì)泵體	轉(zhuǎn)子對(duì)轉(zhuǎn)子	固定端	膨脹端
ZJ-30 ZJP-30	0.075～0.10	0.14～0.22	0.05～0.07	0.13～0.15
ZJ-70 ZJP-70	0.075～0.10	0.14～0.22	0.05～0.07	0.15～0.18
ZJ-150A ZJP-150	0.12～0.14	0.14～0.22	0.09～0.11	0.15～0.18
ZJ-300 ZJP-300	0.19～0.22	0.24～0.32	0.12～0.15	0.24～0.28
ZJ-600 ZJP-600	0.19～0.22	0.24～0.32	0.12～0.15	0.24～0.28
ZJ-1200A ZJP-1200	0.20～0.25	0.60～0.70	0.17～0.20	0.35～0.38

八、ZJ系列羅茨真空泵損件一覽表

型號(hào)	易損件型號(hào)及規(guī)格
	軸承	油封	活塞環(huán)	傳動(dòng)件
ZJ-30 ZJP-30	D205	30×50×10	38×34×2.5	按實(shí)樣
ZJ-70 ZJP-70	D205	30×50×10	38×34×2.5	〝〝〝
ZJ-150A ZJP-150	D207、D2207	45×62×12	45×41×2.5	〝〝〝
ZJ-300 ZJP-300	D311	65×90×13	85×77×2.5	〝〝〝
ZJ-600 ZJP-600	D311	65×90×13	85×77×2.5	〝〝〝
ZJ-1200A ZJP-1200	3516、2216	90×120×12	115×106×4	〝〝〝

九、ZJ系列羅茨真空泵外形尺寸圖

	1.加油 2.加油 3.放油 4.放油	5.進(jìn)氣口 6.出氣口 7.進(jìn)氣口法蘭 8.出氣口法蘭

單位：毫米

型號(hào)	A	A1	B	B1	L	L1	L2	D	Da	Db	M	D1	Da1	Db1	M1
ZJ-30	270	85	267	142	636	162.5	300	50	90	110	M8	40	70	85	M6
ZJ-70	330	115	300（320）	175	736	200	360	80	125	145		50	90	110	M8

產(chǎn)品型號(hào) Model	尺寸（毫米）
	L1	L2	L3	L4	L5	L6	L7	L8	L9	H1	H2	H3	H4	Φ	Da1	Db1	Da2	Db2	Da3	Db3	Ma	Mb
ZJP-30	636	162.5	267	155	85	270	300	40	197	264	107	50	22	Φ12	50	40	110	85	90	70	M8	M6
ZJP-70	736	200	320	155	115	330	360	40	197	264	107	50	22	Φ12	80	50	145	110	125	90	M8	M8

單位：毫米

1.加油 2.加油 3.放油 4.放油 5.放水 6.進(jìn)氣口

7.出氣口 8.出氣口 9.進(jìn)水 10.出水 11.進(jìn)氣口法蘭 12.出氣口法蘭

型號(hào) A A1 B B1 C C1 L L1 L2 H H1 H2 Φ ZJ-150A 144 72 462 210 328 164 1030 320 184 391 370 100 15 ZJ-300 220 110 556 255 450 225 1328 478 300 518 495 130 21 1403 ZJ-600 ZJ-1200A 400 200 1070 500 800 400 1712 563 460 885 850 260 28 型號(hào) G1 G2 G3 G4 D Da Db n（個(gè)） M D1 Da1 Db1 n（個(gè)） M1 ZJ-150A G1/4〞 100 145 170 4 M10 100 145 170 4 M10 ZH-300 G1/2〞 150 195 220 8 150 195 220 8 ZJ-600 ZJ-1200A G1/4〞 G1/2〞 G1/4〞 G1/2〞 300 395 435 12 M16 300 395 435 12 M16

產(chǎn)品型號(hào) Model 尺寸（毫米） L1 L2 L3 L4 L5 L6 L7 L8 L9 H1 H2 H3 H4 G1 G2 N（↑） M D D1 D2 Φ ZJP-150 1030 238 320 144 184 108 328 368 210 370 100 35 210 G1/4〞 G1/4〞 4 M10 100 145 170 15 ZJP-300 1328 319 478 220 300 168 450 498 255 545 130 25 250 G1/2〞 G1/2〞 8 M10 150 195 220 21 ZJP-600 1403 319 478 220 300 168 450 498 255 545 130 25 250 G1/2〞 G1/2〞 8 M10 150 195 220 21 ZJP-1200 1712 506 563 400 500 280 800 860 500 985 260 60 500 G1/2〞 G1/4〞 12 M16 300 395 435 28

1.2.加油 3.4.放油 6.7.冷卻水進(jìn) 5.8.冷卻水出

9.放水 10.進(jìn)氣口 11.出氣口 12.進(jìn)出氣口法蘭

十、ZJ系列羅茨真空泵P-S曲線圖